2.檢查井升井工藝流程
3.半導體邏輯成熟代工工藝 (0./0.um)的相關(guān)step function 講解
4.什么是檢查井,功用是什么?
5.ms 1圖集下載
6.市政污水井有哪些
管道坡度多少時(shí)需設跌水井
管道坡度超過(guò)一定標準時(shí)需設跌水井,通常為坡度大于或等于千分之三。具體解釋如下:管道坡度對排水系統的影響
在排水系統中,管道坡度是一個(gè)重要的設計參數。合適的坡度可以確保污水或其他流體順暢地流動(dòng),避免積聚和堵塞。當管道坡度較陡時(shí),流速會(huì )相應增加,可能會(huì )影響污水的正常流動(dòng),此時(shí)需要設置跌水井來(lái)調節流速和流向。
跌水井的作用
跌水井是一種重要的排水設施,其主要作用是在管道坡度較大時(shí)減緩水流速度,減少因高速水流造成的沖刷和侵蝕。此外,跌水井還可以幫助分離水中的雜質(zhì)和懸浮物,使水質(zhì)得到一定程度的凈化。在管道設計中,如果預測到管道坡度會(huì )導致水流速度過(guò)快或積聚問(wèn)題,就需要設置跌水井來(lái)確保系統的正常運行。
設置跌水井的具體標準
一般來(lái)說(shuō),當管道坡度達到千分之三或更大時(shí),就需要考慮設置跌水井。具體的標準可能會(huì )因不同的工程要求和地區規定而有所差異。在實(shí)際設計中,工程師會(huì )根據地形、土壤條件、管道材料以及流量等因素綜合考慮,確定是否需要設置跌水井以及跌水井的具體位置和數量。此外,還需要定期對跌水井進(jìn)行清理和維護,確保其正常運行和延長(cháng)使用壽命。
綜上所述,管道坡度超過(guò)千分之三時(shí),一般會(huì )設置跌水井來(lái)確保排水系統的正常運行。通過(guò)跌水井,可以減緩水流速度、減少沖刷和侵蝕,同時(shí)還可以?xún)艋|(zhì)。在實(shí)際工程設計中,需要根據具體情況綜合考慮是否設置跌水井以及具體的實(shí)施方案。
檢查井升井工藝流程
檢查井升井工藝流程是指在油氣田中,對井眼進(jìn)行檢查、維護和修復的一系列工藝流程。具體工藝流程如下:
1. 準備工作:包括收集井眼相關(guān)資料、組織人員和設備、準備相關(guān)材料和工具等。
2. 安全措施:確保井場(chǎng)安全,包括檢查各項安全設施、制定安全操作流程、培訓操作人員等。
3. 井口封堵:對井口進(jìn)行封堵,防止井內油氣溢出,通常采用防噴器等設備。
4. 壓力平衡:通過(guò)井口調節壓力,使井內外壓力達到平衡,以確保作業(yè)安全。
5. 井眼檢查:使用測井工具、視頻設備等對井眼進(jìn)行檢查,了解井內情況,包括井眼直徑、井眼壁壘、井眼地質(zhì)情況等。
6. 井眼清洗:利用高壓水或化學(xué)清洗劑等對井眼進(jìn)行清洗,去除井眼內的沉積物、污垢等。
7. 井眼修復:根據井眼檢查結果,采取相應的修復措施,如修補井眼壁壘、修復井眼地質(zhì)問(wèn)題等。
8. 井口解堵:對封堵的井口進(jìn)行解堵,恢復井內油氣流動(dòng)。
9. 封堵井口:完成檢查和修復后,重新對井口進(jìn)行封堵,以確保井內油氣不外泄。
. 清理工作:收拾井場(chǎng),清理作業(yè)現場(chǎng),恢復原狀。
以上是一般井升井工藝流程的主要步驟,具體操作可能會(huì )根據不同的油氣田和井眼情況有所調整。
半導體邏輯成熟代工工藝 (0./0.um)的相關(guān)step function 講解
本文提供半導體邏輯成熟代工工藝(0./0.um)的相關(guān)step function的詳細解析,以下內容涵蓋了一系列重要工藝步驟的原理與目的,有助于理解半導體制造過(guò)程的關(guān)鍵環(huán)節。
1. ZEROOXIDE 的作用主要涉及后序的ZERO PHOTO隔離,避免PR直接與Si接觸引發(fā)的污染。PR中有機物難以清洗,OXIDE則起到了保護作用。此外,OXIDE還能在Si表面引致的融渣融渣在激光刻?。╓AFTER MARK)過(guò)程中被隔離,不損傷襯底。
2. ZEROPHOTO的目的在于在Si上精確刻印圖形,實(shí)現對Si的全局對準,ASML stepper system需要這一標記進(jìn)行精確定位。WAFTER MARK則通過(guò)激光刻印完成,不涉及光照過(guò)程。
3. STI PAD OXIDE 作為緩沖層,防止NITRIDE在淀積過(guò)程中對Si表面造成損傷。厚度過(guò)薄或過(guò)厚都可能引起問(wèn)題,如NITRIDE難以穩定或形成鳥(niǎo)嘴狀。PAD OXIDE通常采用濕氧方法生長(cháng)。
4. STI NITRIDE作為STI CMP的STOP LAYER,其厚度需精確控制以匹配PAOXIDE、SiON、ARC的厚度,確保曝光時(shí)的折射率穩定。NITRIDE的厚度對缺陷形成和鳥(niǎo)嘴狀結構有直接影響。
5. SION在STI ETCH前作為ARC使用,目的是降低NITRIDE的反射率,厚度在0.um SRAM流程中通常為A、A、A三個(gè)等級。
6. LINER OXIDE在STI ETCH后對Si表面損傷進(jìn)行修補,同時(shí)修復尖角以減小接觸面,它也是HDP DEPOXIDE時(shí)的緩沖層。
7. HDP DEP原理在于利用高密度PLASMA轟擊防止CVD填充時(shí)過(guò)早封死產(chǎn)生空洞現象,HDP后需要RTA步驟消除產(chǎn)生的損傷。
8. HDP DEP后進(jìn)行RTA的原因在于HDP過(guò)程中產(chǎn)生的損傷,需通過(guò)RTA步驟消除。
9. 在STI CMP前進(jìn)行AR PHO和ETCH BACK,AR PHO使用AA PHO的反版在HDP CVD生長(cháng)的OXIDE上形成圖示形狀,通過(guò)DRY方法去除大塊的OXIDE,使CMP時(shí)能將OXIDE完全去掉。
. 在STI CMP后,由于NITRIDE硬度較大,Oxide的研磨速率較高,會(huì )產(chǎn)生一定的Dishing現象。
. CMP后進(jìn)行CLN,使用SPM+HF、HPM、APM和HF去除有機物質(zhì)、金屬離子和自然氧化層。
. SAC OX 的作用在于去除PAD OX后生長(cháng)一層OXIDE,消除Si表面損傷,避免PR與Si表面直接接觸,為下一步IMP作阻擋層,防止離子IMP時(shí)發(fā)生穿隧效應。
. APM、SPM、HPM的成分和作用在于去除微顆粒、金屬離子和有機物,HF主要用于去除自然氧化層。
. WELL IMP有三次注入,分別用于調節井的濃度、加大LDD之下部位的WELL濃度、調節器件的開(kāi)啟電壓。
. PUNCH THROUGH是指S、D因耗盡區相接而發(fā)生的穿通現象,采用POCKET和CHANNEL IMP來(lái)增加容易發(fā)生PUNCH THROUGH位置的SUB濃度,減小耗盡層寬度以避免此現象。
. DUAL GATE OX的目的是滿(mǎn)足不同開(kāi)啟電壓需求,GATE OX ETCH方式先去除1.8V器件處的GOX,然后兩邊同時(shí)生長(cháng)形成A、A的DUAL GATE結構。
. 使用UNDOPE的多晶是為了避免對PMOS的VT有較大影響,UNDOPE的摻雜由后續的S、D IMP完成,更容易控制。
. 解釋了HOT CARRIER EFFECT及其影響,LDD的輕摻雜降低橫向電場(chǎng)強度,減少熱載流子效應。
. PLH、NLH無(wú)pocket IMP的原因在于GATE1尺寸較寬,其下溝道也較寬,不會(huì )產(chǎn)生p-th現象。
. Nitride spacer 特點(diǎn)在于形成O-N-O結構,防止Nitride對Si的應力,便于etching過(guò)程,且在etching后lining oxide 仍存在作為掩蔽層。
. SAB的作用在于防止產(chǎn)生Salicide,保護電阻制作,防止S/D的雜質(zhì)從表面析出。
. Salicide在兩次退火過(guò)程中形成CoSi2,過(guò)薄或過(guò)厚分別影響電阻率和形成穩定性。
. POLY ETCH后進(jìn)行POLYRe-Oxidation用于修補ETCH造成的損害,確保Oxide層完整性。
. SABP-TEOS提供良好的gap-filling和平坦化效果,減少表面高度差,結構致密。
. 在SABP-TEOS上DEP一層PETEOS以增加研磨穩定性,減少CMP過(guò)程中的劃傷。
. CONTACT GLUE LAYER的Ti/TiN層用于增強Dielectric-layer與W之間的粘連性,TiN作為阻擋層,Ti避免與WF6反應。
. Salicide annealing后Ti轉化為silicide,減小阻值,增強粘連性,并修補損傷。
. W-PLUG采用W材料,熔點(diǎn)高,導電性好,適合高集成度VLSI生產(chǎn),避免階梯覆蓋不良問(wèn)題。
. MATAL LAYER的三明治結構中,Ti提供粘接性,TiN防止材料交互擴散,Al在大電流密度下容易發(fā)生電遷移,通過(guò)BARRIERLAYER和Cu的加入減小電遷移影響。
. KV PHOTO在形成STI后,去除STI PAD OXIDE,用于清除劃片槽上的沾污和不透光物質(zhì),便于后續的對準處理。
. GAIE OXIDE使用濕氧氧化后DRY OXIDE,DRY OXIDE生長(cháng)的氧化物結構、質(zhì)地和均勻性?xún)?yōu)于WET OXIDE,但TDDB較長(cháng)。
. 形成SALICIDE的工藝中,SELECTIVE ETCH去除CO&TIN,避免高溫退火時(shí)造成短路,使用M2作為蝕刻化學(xué)品。
. 通過(guò)比較ILD和IMD結構,ILD中的SION作為CONTACT ETCH的STOP LAYER,而IMD中的HDPTEOS則避免接近器件表面產(chǎn)生損傷。
. VIA GLUE LAYER前ETCH A的作用是去除底面金屬表層的NATIVEOX,為后續工藝提供清潔表面。
. METAL 6 AlCu DEPTH變厚的原因是上層電流較大,分流作用使電流減小,確保電流路徑穩定。
. 在PASSIVATION中,PE-SION作為PAD層,PE-SIN作為鈍化層,阻擋H2O與Na擴散,實(shí)現SiO2無(wú)法掩蔽的Al、Ga、In等雜質(zhì)的擴散。
. SN+/SP+ IMP進(jìn)行兩次注入的原因是降低S/D與WELL之間的濃度梯度,減少leakage。
. LPCVD和PECVD沉積的SiN的差異在于LPCVD沉積的SiN具有較大應力,不宜過(guò)厚,而PECVD SiN應力較小,厚度可適當增加。
. KV PHOTO的作用是在形成STI后,清理STI PAD OXIDE,便于后續的對準處理,如果對準標記可見(jiàn),則進(jìn)行去除。
. GAIE OXIDE使用濕氧氧化后DRY OXIDE,優(yōu)化氧化物結構、質(zhì)地和均勻性,同時(shí)保持TDDB較長(cháng),用于評估氧化物壽命。
. SELECTIVE ETCH去除CO&TIN,避免高溫退火時(shí)造成短路,使用M2作為蝕刻化學(xué)品。
. 第一次ALLOY修復工藝中可能造成的損傷,第二次退火同樣修復損傷,以確保器件表面完整性和性能。
. 0.的制程的VIA設計規則要求,采用離子化金屬電漿(IMP)工藝淀積TI,確保良好的底部覆蓋和接觸性能。
. HDP PASSIVATIAN PHOTO前沒(méi)有CMP步驟的原因是確保PHOTO的對準,不考慮對BOND PAD外接引線(xiàn)的要求。
. Loading Effect指的是蝕刻過(guò)程中,材料表面面積對蝕刻速率的影響,局部蝕刻速率不均勻。
. Latch-Up Effect是CMOS電路中寄生可控硅被觸發(fā)導通,形成低阻通路的現象,引起器件燒毀的問(wèn)題。
. CMOS IC結構形成的PNPN四層寄生可控硅(SCR)是Latch-Up Effect的物理基礎。
. Loading Effect中面積較大的材料在Plasma蝕刻過(guò)程中蝕刻速率較慢,導致局部蝕刻速率不均勻。
. Latch-Up Effect的觸發(fā)條件包括寄生npn(pnp)晶體管的共基極電流增益α的關(guān)系、電源電壓與維持電壓及電流的關(guān)系等。
以上詳細解析了半導體邏輯成熟代工工藝(0./0.um)中的關(guān)鍵步驟及其目的,為理解復雜制造過(guò)程提供了一個(gè)全面的視角。
什么是檢查井,功用是什么?
檢查井是指在城市地下基礎設施中用于多種用途的檢查井,包括閥門(mén)井、碰頭井、排氣井、觀(guān)察井、消防井等。這些井主要服務(wù)于各種管道系統,如雨水、污水、給水、燃氣等。
這類(lèi)井的功用主要體現在以下幾個(gè)方面。首先,它們作為管道系統的檢查口,便于工作人員進(jìn)行定期的檢查、維護和維修工作。通過(guò)井口,可以方便地進(jìn)入井內,檢查管道的運行狀態(tài),發(fā)現并及時(shí)處理可能出現的問(wèn)題。其次,檢查井還用于安裝閥門(mén)、接頭、調節器等設備,確保管道系統的正常運行和調節流量。此外,一些井還設有排氣設備,以防止管道內積存氣體引起的安全隱患。
檢查井還具有一定的安全保障功能。在一些特殊的井中,如觀(guān)察井,可以安裝攝像頭等設備,進(jìn)行實(shí)時(shí)監控,確保管道系統的安全運行。消防井則用于存放消防設備,方便在發(fā)生火災時(shí)迅速取用,為滅火工作提供及時(shí)支持。
此外,檢查井還起到收集和處理管道內污物的作用,通過(guò)設置清掏口,工作人員可以定期對井內的積泥、雜物進(jìn)行清理,保持管道系統的暢通。在一些特殊的井中,如雨水排放井,還設置有格柵、過(guò)濾設備等,以防止垃圾、樹(shù)葉等雜物進(jìn)入管道,造成堵塞。
總之,檢查井在城市地下基礎設施中扮演著(zhù)重要角色,其主要功能包括檢查維護、設備安裝、安全保障、污物處理等。通過(guò)這些井的合理設置和有效管理,可以保障城市地下管道系統的正常運行,提高城市運行效率和安全性。
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市政排水管道工程及附屬設施是城市基礎設施的重要組成部分,對于保障城市排水系統的正常運行至關(guān)重要。這些工程包括地下管道、檢查井、雨水口、壓力井、倒虹吸管等。其中,地下管道的鋪設是核心環(huán)節,需要考慮土壤條件、地下水位、交通狀況等因素。檢查井的作用在于定期清理管道內的淤積物,維護管道暢通。雨水口則是雨水進(jìn)入排水系統的入口,設計時(shí)需確保雨水能夠快速排出,減少城市內澇的風(fēng)險。
市政排水管道的附屬設施同樣重要,它們不僅能夠提升排水系統的效率,還能起到保護環(huán)境的作用。例如,壓力井可以調節管道內的水壓,確保水流順暢。倒虹吸管則是利用虹吸原理,將低處的水流引向高處,避免了高處積水的問(wèn)題。這些設施的建設與維護需要專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團隊進(jìn)行,確保每一項工程都達到國家標準。
此外,隨著(zhù)城市化進(jìn)程的加快,市政排水管道工程的建設和更新也面臨著(zhù)新的挑戰。城市空間有限,如何在有限的地下空間內合理布置排水管道,成為了一個(gè)重要課題。同時(shí),環(huán)保意識的提升也對排水系統提出了更高要求,如何減少對環(huán)境的影響,實(shí)現綠色排水,是當前市政排水工程的一大焦點(diǎn)。
對于專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō),掌握先進(jìn)的施工技術(shù)和管理經(jīng)驗是必不可少的。例如,在鋪設地下管道時(shí),需要使用先進(jìn)的探測設備來(lái)精確定位地下結構,避免施工過(guò)程中對已有管線(xiàn)造成破壞。此外,對于檢查井、雨水口等附屬設施的設計,也需要充分考慮美觀(guān)與實(shí)用性的結合,確保設施能夠長(cháng)期穩定運行。
總之,市政排水管道工程及附屬設施的建設與維護是一個(gè)復雜而精細的過(guò)程,它不僅關(guān)系到城市的排水效率,還直接影響到市民的生活質(zhì)量。因此,每一個(gè)環(huán)節都不能忽視,每一個(gè)細節都需要精心設計與施工。
市政污水井有哪些
市政污水井的種類(lèi)及簡(jiǎn)要解釋?zhuān)?/p>
一、格柵攔截井
此井通常用于市政污水的初步處理,其內部設置有不同規格的格柵,用以攔截污水中較大的固體顆粒和漂浮物。格柵攔截井能夠有效減少后續處理單元的負荷。
二、沉砂井
沉砂井主要用于去除污水中攜帶的泥沙。由于市政污水在收集過(guò)程中可能攜帶大量的泥沙,這些泥沙若直接進(jìn)入后續處理設備,會(huì )導致設備磨損加劇,因此需要通過(guò)沉砂井進(jìn)行初步分離。
三、調節水質(zhì)水量的污水井
這種污水井主要用于調節水質(zhì)和水量。由于市政污水的流量和水質(zhì)可能會(huì )因天氣、時(shí)間等因素產(chǎn)生波動(dòng),這種波動(dòng)可能影響到后續處理單元的穩定運行。因此,設置調節水質(zhì)水量的污水井,可以平衡水量,減輕水質(zhì)波動(dòng)對后續處理單元的影響。
四、檢查井
檢查井是市政排水管系統中常見(jiàn)的一種污水井,主要作用是進(jìn)行檢查和清理。檢查井一般間隔一定的距離設置,以便工作人員進(jìn)行日常檢查和維修。同時(shí),在清理管道時(shí),可以通過(guò)檢查井進(jìn)行操作。
以上就是市政污水井的主要類(lèi)型。各類(lèi)污水井的主要功能都是為了更好地收集、處理和輸送污水,保證市政排水系統的正常運行。這些污水井的設置,不僅提高了污水處理的效果,也方便了日常的管理和維護。在實(shí)際應用中,需要根據具體的地形、水質(zhì)和水量等因素,合理選擇和設計不同類(lèi)型的污水井。
如何降低礦井通風(fēng)阻力?
降低通風(fēng)阻力的措施有:1、應盡量避免巷道內風(fēng)量過(guò)于集中。
2、提高井巷得施工質(zhì)量和維修質(zhì)量,改善井巷壁面的粗糙程度,降低井巷摩擦阻力系數。
3、改變井巷形狀,減少周邊長(cháng)度。
4、擴大巷道斷面,降低摩擦風(fēng)阻,特別是主要進(jìn)回風(fēng)道的斷面應適當加大。
5、要把連接不同斷面巷道的巷道段做成斜形或圓弧形。
6、巷道拐彎時(shí),轉角越大越好,要盡量避免直角拐彎。
7、及時(shí)清理巷道重的堆積物,保持巷道的清潔、完整,以免阻擋風(fēng)流。
8、在主要通風(fēng)機的進(jìn)口安裝集風(fēng)器。
9、盡量縮短通風(fēng)線(xiàn)路長(cháng)度。
通風(fēng)阻力的影響因素:
一般情況下,礦井通風(fēng)阻力主要是由礦井通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )和礦井通風(fēng)設施決定的。礦井通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )主要是指礦山井下巷道的連接方式,而礦井通風(fēng)設施主要是調節井下風(fēng)量的,它對通風(fēng)阻力有直接影響。
1、礦井通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )
由于礦井通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )是個(gè)整體,當一條巷道的通風(fēng)阻力發(fā)生變化時(shí),整個(gè)通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )其他巷道的通風(fēng)阻力也會(huì )發(fā)生變化。在這種情況下,可以根據復雜程度來(lái)衡量通風(fēng)網(wǎng)絡(luò ),礦井的通風(fēng)網(wǎng)絡(luò )越復雜,對其進(jìn)行風(fēng)量調節也就越困難。
2、礦井通風(fēng)設施
在礦井正常運行過(guò)程中,需要采用各種通風(fēng)設施來(lái)完成對風(fēng)量的調節。常見(jiàn)的通風(fēng)設施有風(fēng)橋、調節風(fēng)墻、風(fēng)門(mén)和密閉,嚴格意義上講,這些設施是礦井通風(fēng)的障礙物,會(huì )影響通風(fēng)效果。